摘要： 微波是整个电磁频谱非常重要的组成部分，可以与物质发生丰富的相互作用；而原子力 显微术(Atomic Force Microscopy，AFM) 有超高的空间分辨率，是纳米研究的核心工具。将 微波技术与AFM 结合将实现一种全新的扫描微波显微术(Scanning Microwave Microscopy， SMM)。该技术可以探测各种样品（包括导体、半导体、绝缘体及其它新型材料）在微纳米尺度 的多种电学性质，如载流子类型、介电常数、电导率和导磁系数等；以及实现微纳米尺度下微波 探测技术，如NMR、ESR 等，具有非常广阔的应用前景。文中综述了SMM 的基本原理，仪器 组成，并介绍了其在电学性质探测、各种新型材料、生物等方面的前沿应用实例。最后，文章展 望了扫描微波显微术的进一步技术发展和应用研究。