摘要： 本文综述了利用飞秒激光三维直写技术,在玻璃和晶体等透明介电材料中实现微流体、微光学、微电子学等一系列功能性微纳结构,并进一步构筑新型微纳光子器件的原理、技术与应用。

关键词: 飞秒激光直写; 微加工; 介电材料; 微流体; 微光学;