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纳米 CMOS 器件中热载流子产生缺陷局域分布的表征
马丽娟, 陶永春
Profiling of the Local Distribution of Hot-Carrier-Induced Defects in Nanoscale CMOS Devices
MA Li-juan, TAO Yong-chun
物理学进展 . 2024, (
2
): 97 -101 . DOI: 10.13725/j.cnki.pip.2024.02.003