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第 15 卷 第 4 期, pp.406-414  (1995) [ 9页 ]

单原子操纵及原子尺度器件加工的最新进展

黄德超
江西省抚州师范专科学校化学系 江西 344000

黄德欢
日本东京都武藏野市绿町

2010/08/26 发布

扫描隧道显微镜的发明不仅使得人们的视野可以直接观察到物质表面上的原子及其结构并进而分析物质表面的化学和物理性质,它还使得人们可以在纳米尺度上对材料表面进行各种加工处理,甚至可以控制和操纵单个原子。这一特定的应用将会使人类从目前微米尺度的加工技术迅速跨入纳米尺度和原子尺度。这将会是推动人类科学和技术发展的一个无法估量和替代的动力。本文将介绍在工业界应用最为广泛的半导体材料硅(Si)表面上单原子操纵研究的最新进展,并讨论它们在单原子存储器加工中的应用。
The scanning tunneling microscope (STM), which was invented for imaging the to-pographic and electronic structures of solid surfaces at the atomic level ,is also a promis-ing method for manipulating single atoms and fabricating nanometerscale structures onsolid surfaces. This capability makes it increasingly attractive and powerful for use indiverse areas of science and technology. In this review paper, we will introduce new ap-proach of single atom manipulation on the Si surfaces through field evaporation betweenan STM tip and the sample at roorn temperature and discuss its application to the singleatom memory device.

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